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EMC、安全規格、エネルギー効率等の情報


SEMI規格のSシリーズとSEMI S2

半導体製造装置/半導体 ] 2015/10/14(水)

 SEMI規格とは半導体製造装置の業界団体SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)が定めた半導体製造装置の規格です。
1.SEMI規格の分野別構成
 材料(Mシリーズ)、設備(Fシリーズ)、フラットパネルディスプレイ(Dシリーズ)、トレーサビリティ(T シリーズ)、及び環境・健康・安全(EHS)(Sシリーズ)で構成され、米国だけでなく、各国の多くの装置ユーザが適合の要求をしています。
特に日本から米国向け半導体製造装置の売買契約時の安全性評価にSEMI安全ガイドラインが使用されています。
2.EC/ISO規格の要求事項と整合したへ規格改訂化
 当初は米国半導体メーカの要求仕様に基づいて出版されていましたが、近年は国際規格への整合のためIEC/ISO規格に基づく要求事項へ規格改訂が進められています。
3.半導体製品の製造、測定、組立、及び試験に使用される装置の規格「SEMI S2」の項目
 最新の規格「SEMI S2-0712d」は2015年1月5日に承認されています。
 項目は以下です。 :電気関連(オレンジ色
 1.目的
  本規格は半導体製造装置で実現すべき、環境・健康・安全上の性能基準。
 2.適用範囲:半導体製品の製造、測定、組立、及び試験に使用される装置に適用される。
 3.制限事項
 4.参照スタンダード及び文書
 5.用語
 6.安全に対する考え方
  ・危険を制御あるいは除去すること。
  ・要員は事前にトレーニングされていることが前提。
  ・設計・製造においては以下を考慮する。
   (①法規制の要求仕様、②業界スタンダード、③本規格、④工学及び製造上の好ましい手法)
  ・予見可能な単一故障、及び誤操作があっても、要員・設備・地域社会に対して、死、重大な障害、又は装置の重大な損害を引き起こす危険に及ばない。
  ・安全機能はフェイルセーフ、あるいは耐欠陥性の設計、及び構造とする。
  ・危険分析の実施と評価と対策。
  ・重要安全部品の使用
   など
 7.一般規定
 8.評価プロセス
  評価者の条件、評価の仕方が記載されている。
 9.ユーザに提供する文書
 10.危険警告ラベル:SEMI S1に適合(法が優先)
 11.安全インターロックシステム
 12.緊急停止:緊急遮断を設けること。
 13.電気設計
 14.防火
 15.液体加熱システム
 16.人間工学及び人的要因
 17.危険なエネルギーの絶縁
 18.機械設計
 19.地震保護
 20.自動材料搬送機
 21.環境への配慮
 22.排気装置
 23.化学物質
 24.電離放射線:
X線、ガンマ線を発生、あるいは使用する装置についての規定。
 25.非電離放射線及びフィールド
 26.レーザー
 27.音圧レベル
 28.関連文書

  付録1 - 液体化学薬品を使用する装置の設計ガイドライン
  付録2 - 電離放射線のテスト検証
  付録3 - 非電離放射線(レーザー以外)及び電磁界のための露出基準及び試験方法
  付録4 - 防火:製作材料の選択フローチャート
  付録5 - レーザーデータシート - SEMI S2
参考SEMI規格
 SEMI E6 - 半導体製造装置の設置文書のガイド
 SEMI F5 - 流出ガスの処理のガイド
 SEMI F14 - ガス源機器筐体の設計ガイド
 SEMI F15 - エンクロージャ試験方法(SF6トレーサーガス)は、SEMI S6に移動。
 SEMI S1 - 設備安全ラベルの安全ガイドライン
 SEMI S3 - プロセス液体加熱システムの安全ガイドライン
 SEMI S6 - 半導体製造装置の排気換気のEHSガイドライン
 SEMI S7 - 半導体製造装置のESH(環境、安全、衛生)評価のガイドライン
 SEMI S8 - 半導体製造装置の人間工学エンジニアリングの安全ガイドライン
 SEMI S10 - リスク評価及びリスク評価プロセスの安全ガイドライン
 SEMI S12 - 装置の除染のガイドライン
 SEMI S13 - 半導体製造装置で使用する装置のユーザに提供する文書の環境、健康及び安全ガイドライン
 SEMI S14 - 半導体製造装置の火災リスク評価及び軽減の安全ガイドライン
 SEMI S22 - 半導体製造装置の電気設計の安全ガイドライン

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プロフィール

湘南次郎

Author:湘南次郎
(1)電気・電子機器メーカにて「電子機器」設計、及び「EMC・安全規格」適合取得に従事し、効率的な規格適合を支援してきました。
(2)国内(VCCI、PSE)、欧米(CE、UL)、アジア(CCC等)の規格適合に関して、アドバイスを行ってきました。

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