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EMC、安全規格、エネルギー効率等の情報


SEMI関連の技術文書一覧!

半導体製造装置/半導体 ] 2016/11/14(月)

SEMI関連の技術文書の項目は以下です。
▶ブロック図、及び機能図
▶回路図(分電盤、EMO、インターロック)
▶据付マニュアル
  ・電源定格、SCCR、用力(必要な電力、ガス、圧縮空気、排気、冷却水等、)設置スペース、使用環境条件)
▶オペレーション・マニュアル
  ・装置概要、外形図、停止復帰手順、運転手順など
▶メンテナンス・マニュアル
  ・メンテナンスの手順・頻度、調整・修理、交換部品、設定、残存リスクなど  
▶インターロック
▶エンドユーザによる交換部品について
▶輸送・保管に関する情報
▶処分・リサイクルに関する情報
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プロフィール

湘南次郎

Author:湘南次郎
(1)電気・電子機器メーカにて「電子機器」設計、及び「EMC・安全規格」適合取得に従事し、効率的な規格適合を支援してきました。
(2)国内(VCCI、PSE)、欧米(CE、UL)、アジア(CCC等)の規格適合に関して、アドバイスを行ってきました。

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